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高低温半自动探针台(cascade PAC 8英寸半自动低温探针台介绍)

高低温半自动探针台(cascade PAC 8英寸半自动低温探针台介绍)



cascade PAC 8英寸半自动低温探针台概述
cascade PAC 8英寸半自动低温探针台是一款高精度半自动探针台。适用于高真空环境中最大200mm晶圆或衬底测量,用液氮制冷至77K或用液氦制冷至20K。PMC200专为工业环境和主要研究单位而设计,支持硅、化合物半导体和超导器件的直流和射频测量,MENS和光电测试等广泛应用。
cascade PAC 8英寸半自动低温探针台主要特征
一,灵活性
  • 用于直径高达 200 mm 的晶圆或单一裸片的不同衬底载体
  • 探针卡和/或多达 8 个针座
  • 用液氮或氦使用,根据目标温度
  • 可提供附件,比如:黑体和光学运动分析工具
  • 针对 300 mm 晶圆的任选升级
  • 专为工业环境而设计
  • 涵盖广泛的测量(I-V、C-V、RF、MEMS、OPO)
  • 非常适合于小结构
二,稳定性
  • 低至 77 K(液氮)或低于 20 K(液氦)的无冰和无凝结探查
  • 探针座被置于真空室的内部
  • 短且稳定的探针臂
  • 具有内置隔振设计的坚固探针台框架
  • 任选的显微镜桥
  • 精确的探针定位
  • 卓越的测量准确度和重复精度
  • 极佳的减震作用
  • 对于高分辨率显微镜稳定的图像质量
三,简单易用
  • 操纵杆控制器
  • 具有旋转贯穿件的手动探针定位器
  • 通过装载门提供了前装能力
  • 舒适和简易的操作
  • DUT 的快速且符合人体工程学的变更  


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